激光掃描顯微鏡的優勢 微文 銀鄉 花術; &n的厭bsp; 資老; 湖雪 &友劇nbsp; 少長;
非接觸式、無損、快速成(chéng)像和測量
○ 非接觸式、無損測量
激光掃描顯微鏡(LSM)采用低功率激老個光,不接觸樣(yàng)品。因此,不像基于探針哥雪系統的接觸式表面(miàn)粗糙度的睡測量儀那樣(yàng)存在損壞樣(yàng)品的風險。
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○ 無需前期準備即可成(chéng)像
掃描電子顯微鏡(SEM)在觀察之前需要進(jìn)行前期的海業樣(yàng)品準備,如真空脫水和/或切片處跳文理,使之适合樣(yàng)品室。而LSM則無如但需前期的樣(yàng)品準備即可對(duì)樣(yàn購綠g)品進(jìn)行測量。而且,將(關書jiāng)樣(yàng)品放置在載物台上之後(hòu),即可直接開(志通kāi)始成(chéng)像 | |
卓越的XY測量
○ 在XY平面(miàn)精确測量亞微米級的距離
幹涉儀是基于普通白光的光學(xué)顯微鏡,區開它的平面(miàn)分辨率不高。而L輛風SM通過(guò)采用更大數值孔徑爸亮的物鏡和更小波長(cháng)的光波玩知,極大地提高了平面(miàn)分辨率。并且通過(guò藍嗎)高精度的激光控制技術,獲得更爲精确的樣(yàng)品表面(miàn)形貌。根睡兒據拍攝到的圖像,LSM可以進(jìn好那)行非常精确的XY平面(miàn)亞微米測量。LEXT OLS4100達到體事了0.12μm的平面(miàn)金樂分辨率。 | |
卓越的Z軸測量
○ 在Z方向(xiàng)上精确來朋測量亞微米級的高度 | SEM可以拍攝到超高分辨率的影像,但是無法得微數到高度信息。LSM采用短波長(cháng)半導體激光和新河獨有的雙共焦光學(xué)系統,會(huì)删除未聚物熱焦區域的信号,隻將(jiāng)聚焦範圍内的反書明射光檢測爲同一高度。同時(shí)結合高精度的光栅讀取靜行能(néng)力,可以生成(chéng)高畫質的影像,實現精确的3D測弟花量。LEXT OLS4100達到了10nm的高度分辨海票率。
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