“The Grand EPMA中能” 誕生
搭載最尖端場發(fā)射電子光學(xué)系統 歌拍; 將(jiāng)島津EPMA分析性能(né司著ng)發(fā)揮到極緻
從SEM觀察條件到1μA量級，在可作各種(zhǒng)束流條件下都(dōu)擁有無與倫比卓越媽明空間分辨率的尖端場發(fā)射電子光學(xué)放錯系統。結合島津傳統的高性能(néng)X射線譜儀，將(jiāng)分析性能(n雜司éng)發(fā)揮至極緻。
當之無愧的“The Grand EPMA” ，歌紙最高水準的EPMA誕生！ | 
|
超高分辨率面(miàn)分析
對(duì)碳膜上Sn球放大3萬倍進(jìn)行面(miàn)分析。即使是白化SE圖像（左側）上直徑隻有50nm左右的Sn顆粒，在X射線圖像（右側）上問她也是清晰可見。
最尖端技術實現
■ 無與倫比卓越的空間分辨率 EPMA可達到的最高級别的二次電子圖像分辨率3n我看m（加速電壓30kV）分析條件下No.1的二次公靜電子分辨率。 （加速電壓10kV時(shí)20nm@10nA/50nm@100nA/紅請150nm@1μA）
■ 二次電子圖像最高分辨率3nm 碳噴鍍金顆粒的觀察實例。實現最高分辨間舞率 3nm（@30kV）。相對(du廠煙ì)較高的束流也可將(jiāng)電子束壓 細聚焦，更加容易的獲得高分辨率的SEM圖愛日像。 | ■ 大束流超高靈敏度分析 如站 實現3.0μA（加速電壓30kV）的最大束流。 全束流範圍無需更換物鏡光闌。
■ 最多可同時(shí)搭載5通道(dào)高畫唱性能(néng)4英寸X射線譜儀 無人可及的52.5°X射線取出角。 4英寸羅蘭圓半徑兼顧高靈敏度與高分辨率。 最多可同時(shí)搭載5通道(dào)相同規格的X射線譜體可儀。
■ 全部分析操作簡單易懂 全部操作僅靠一個鼠标就(jiù)可進(jì你照n)行的先進(jìn)可操作性。 追求「易懂」的人性化用戶界面(miàn)。 搭載導航模式，自動指引直至生成(chéng)報告。 |
超高靈敏度面(miàn)分析
使用1μA束流對(duì)不鏽鋼進(jìn)內吧行5000倍的面(miàn)分析。精确是錢地捕捉到了Cr含量輕微不同形成(chéng熱師)的不同的相（左側），同時(shí)也成(chéng)功地將(jiāng作習)含量不足0.1%的Mn分布呈現在我們眼前（右側麗人）。
實現微區超高靈敏度分析的先進(jìn)技術 &n花快bsp; 文間 &nb樂票sp; 腦行 &nbs城歌p; 聽就
| 1. 高亮度肖特基發(fā)射體 場發(fā)射電子槍采用的肖特基發(fā)射體比一般鄉訊傳統SEM使用的發(fā)射體針尖直徑更大，輸出秒冷更高。即可以保持其高亮度，還(hái)可提供高靈敏度劇很分析不可缺少的穩定大電流。
2. EPMA專用電子光學(xué)船友系統 電子光學(xué)系統，聚光透鏡盡可能(néng)的接近電子槍一側，交會但叉點不是靠聚光透鏡形成(chéng時秒)，而是由安裝在與物鏡光闌相同位置上，具有獨立構成(chén風森g)與控制方式的可變光闌透鏡來形成(chéng)交叉點的（日本專利火場：第4595778号）。簡單的透鏡技錢結構，既能(néng)獲得大束流有車，同時(shí)全部電流條件下設定最合适的打開(kāi)角度，將(服吃jiāng)電子束壓縮到最細。當然是不需要更換物鏡光相事闌的。
3. 超高真空排氣系統 電子槍室、中間室、分析腔體之間分别安裝有篩孔（orifice）間隔方志城式的2級差動排氣系統。中間室與分析腔體間的氣這湖流孔做到最小，以控制流入中間室的氣體，使電子槍室算船始終保持著(zhe)超高真空，确保發(fā得風)射體穩定工作。
4. 高靈敏度X射線譜儀 議見; 最多可同時(shí)搭載5通道(dào)兼顧高靈敏見麗度與高分辨率的4英寸X射線譜儀。52.5°的X射線取出高校角在提高了X射線信号的空間分辨率的同時(shí)，又可減小樣(信朋yàng)品對(duì)X射線的吸收，算窗實現高靈敏度的分析。
|
進(jìn)入郵箱&nbs外微p;
走進(jìn)富德
兵去; 
&nbs這腦p;
客服1